300 Vue 可以用于宽范围的流量。精度范围内可以控制小的流量 (0-5 sccm) 或者非常大的流量范围 (0-10,000 slm).
• 出色的精度±(0.5% Pt + 0.2% FS)
• 快速响应
• 混合气体控制
• 模拟 / 串口 / USB
300 Vue 可以用于宽范围的流量。精度范围内可以控制小的流量 (0-5 sccm) 或者非常大的流量范围 (0-10,000 slm).
• 出色的精度±(0.5% Pt + 0.2% FS)
• 快速响应
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• 模拟 / 串口 / USB